Термовакуумно-напыленные пленки 1Н-индол-3К-(фенил)-альдонитрона - сухопроявляемый материал для лазерной микролитографии
Аннотация
Экспериментально показано, что при вакуумном испарении 1Н-индол-3N-(фенил)-альдонитрона образуются высококачественные глянцевые пленки аморфного типа. При лазерном экспонировании (λ = 351 нм) полученных пленок образуется скрытое изображение маски, которое проявляется вакуумным излучением кварце-во-галогенных ламп КГМ-1. Пленки толщиной 1,3±0,2 мкм маскируют ионы фосфора и бора с энергией до 1 000 эВ (при дозах 0,10-0,12 мКл/см2) в кремниевой технологии получения БИС.
Об авторах
В. А. Азарко
Институт химии новых материалов НАН Беларуси
Беларусь
Беларусь
Ю. К. Михайловский
Институт химии новых материалов НАН Беларуси
Беларусь
Беларусь
Г. В. Калечиц
Институт химии новых материалов НАН Беларуси
Беларусь
Беларусь
В. Е. Обухов
Физико-технический институт НАН Беларуси
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Плазменная технология в производстве СБИС / Под ред. Н. Айнспрука и Д. Брауна: пер. с англ. М.: Мир, 1987. С. 469.
2. Михайловский Ю. К., Агабеков В. Е., Азарко В. А. // ЖПС. 1996. Т. 63. № 3. С. 436-443.
3. Азарко В. А., Агабеков В. Е.,Стригуцкий В. П., Михайловский Ю. К.,Калечиц Г. В., Шулицкий Б. Г. // Весцi НАН Беларусi Сер. хiм. навук. 2007. № 10. С. 57-60.
4. Cik G., Sersen F., Vodny S. // J. Photochem. Photobiol. A: Chem. 1991. Vol. 60. P. 245-250.
5. West P. R., Davis G. C. // J. Org. Chem. 1989. Vol. 54. N 21. P. 5173-5180.
6. Гордон А., Форд Р. Спутник химика: пер. с англ. М.: Мир, 1978. С. 210.
7. Tochitsky E. I., Obukhov V. E., Tochitsky Y. I., Reinhard Noepfl // Proceeding of the Joint International Congress and Exhibition «Electronics Goes Green 2004», Berlin, Germany, 2004. P. 803-806.
Рецензия
Просмотров: 322
Послать статью по эл. почте 